Veeco外延設備(bei)濾(lv)芯(xin)的核(he)心(xin)功能(neng)與(yu)應(ying)用場(chang)景(jing)

　　Veeco外延設備(bei)濾(lv)芯(xin)的核(he)心(xin)功能(neng)與(yu)應(ying)用場(chang)景(jing)：

　　1.液壓系統(tong)過濾(lv)

　　作(zuo)用：在外延設備(bei)的液壓系統(tong)中(zhong)，濾(lv)芯(xin)用於(yu)過濾(lv)液壓油中(zhong)的顆(ke)粒(li)汙(wu)染(ran)物(wu)（如金(jin)屬屑、氧(yang)化物(wu)、橡(xiang)膠碎(sui)渣等(deng)），防止(zhi)雜質進入高(gao)壓泵、控制(zhi)閥(fa)等(deng)關(guan)鍵(jian)部件，避免磨(mo)損、卡滯(zhi)或(huo)泄(xie)漏(lou)。

　　典(dian)型場(chang)景(jing)：

　　晶(jing)圓(yuan)承(cheng)載(zai)臺(tai)的升(sheng)降(jiang)、旋轉等(deng)運(yun)動(dong)依(yi)賴(lai)液壓驅動，濾(lv)芯(xin)保障液壓油清潔(jie)，確保運(yun)動(dong)平穩(wen)性和(he)定(ding)位精(jing)度。

　　高溫外延工藝中(zhong)，液壓系統(tong)可能因(yin)熱(re)膨(peng)脹產生微(wei)小(xiao)顆(ke)粒(li)，濾(lv)芯(xin)可攔截這(zhe)些汙染物(wu)，防(fang)止系(xi)統(tong)失效。

　　2.潤滑系統(tong)過濾(lv)

　　作(zuo)用：在設備(bei)的傳動(dong)部件（如軸(zhou)承(cheng)、齒(chi)輪(lun)、導軌）中(zhong)，濾(lv)芯(xin)通(tong)過過濾(lv)潤滑油中(zhong)的雜質，減少(shao)摩擦(ca)面(mian)的(de)磨(mo)損，延長機械部件壽命。

　　典(dian)型場(chang)景(jing)：

　　外延生長室的(de)旋轉基座(zuo)、氣體(ti)分配盤(pan)等(deng)部件需要持(chi)續(xu)潤滑，濾(lv)芯(xin)防止(zhi)油汙中(zhong)的顆(ke)粒(li)劃(hua)傷精(jing)密(mi)表面。

　　高速旋轉設備(bei)（如MOCVD反應腔(qiang)的氣體(ti)渦輪(lun)）依(yi)賴(lai)清潔(jie)潤滑油，濾(lv)芯(xin)可避(bi)免渦輪(lun)葉(ye)片因(yin)汙(wu)染(ran)導致(zhi)振動或(huo)失(shi)效(xiao)。

　　Veeco外延設備(bei)濾(lv)芯(xin)在外延設備(bei)中(zhong)的特(te)殊重要性：

　　1.保障工藝穩(wen)定(ding)性

　　外延生長對(dui)設備(bei)機械穩(wen)定(ding)性要求(qiu)高(gao)（如原(yuan)子(zi)層沈(chen)積(ji)需納(na)米(mi)級平整度），液壓/潤滑系統(tong)的微小(xiao)汙(wu)染可(ke)能導(dao)致(zhi)基片抖動(dong)或(huo)溫度波動，濾(lv)芯(xin)通(tong)過維持(chi)油液潔(jie)凈，間(jian)接(jie)提(ti)升(sheng)薄(bo)膜(mo)均勻(yun)性。

　　2.防止(zhi)交叉(cha)汙染

　　在MOCVD（金(jin)屬有機化學氣(qi)相(xiang)沈(chen)積(ji)）或(huo)CVD（化學氣(qi)相(xiang)沈(chen)積(ji)）設備(bei)中(zhong)，液壓油泄漏可(ke)能(neng)帶(dai)入反應腔(qiang)，濾(lv)芯(xin)可減(jian)少(shao)油汙對(dui)晶(jing)圓(yuan)的汙(wu)染(ran)風(feng)險。

　　3.延長設備(bei)壽命

　　液壓泵、伺(si)服(fu)閥等(deng)關(guan)鍵(jian)部件成本高(gao)昂，濾(lv)芯(xin)通(tong)過過濾(lv)顆(ke)粒(li)物(wu)，可(ke)顯著(zhu)降(jiang)低(di)因(yin)磨(mo)損導(dao)致(zhi)的維修頻率(lv)，尤(you)其對(dui)24小(xiao)時連(lian)續(xu)運(yun)行(xing)的量產設備(bei)至(zhi)關(guan)重(zhong)要。