標題(ti)：單晶(jing)爐(lu)過(guo)濾器(qi)濾(lv)芯
產品概述
單晶(jing)爐(lu)過(guo)濾器(qi)濾(lv)芯
單(dan)晶(jing)爐(lu)是(shi)壹(yi)種在(zai)惰(duo)性氣體(ti)(氮氣、氦(hai)氣為(wei)主)環境(jing)中(zhong),用石墨(mo)加熱(re)器(qi)將(jiang)多(duo)晶(jing)矽等多(duo)晶(jing)材(cai)料(liao)熔(rong)化,用直拉法(fa)生(sheng)長無(wu)錯(cuo)位(wei)單(dan)晶(jing)的設備。
單(dan)晶(jing)爐(lu)的型號(hao)與命名(ming)：
單(dan)晶爐(lu)過(guo)濾器(qi)濾(lv)芯 單(dan)晶(jing)爐(lu)型(xing)號(hao)有兩種命(ming)名(ming)方(fang)式，壹種為(wei)投(tou)料(liao)量(liang)，壹種為(wei)爐(lu)室直徑。比(bi)如85爐(lu)，是(shi)指(zhi)主爐(lu)筒(tong)的直徑大(da)小，120、150等型(xing)號(hao)是(shi)由(you)裝(zhuang)料量(liang)來決(jue)定(ding)的
技術要(yao)求(qiu)：
1.單(dan)晶(jing)爐(lu)裝(zhuang)料(liao)量(liang)(單臺(tai)機(ji)產能多(duo)少(shao))
2. 能拉多(duo)長(chang)、幾(ji)寸的矽棒
3. 拉制(zhi)晶(jing)棒的成品率(lv)是(shi)多(duo)少(shao)
4拉出(chu)矽棒品質(zhi)(少子壽命、電(dian)阻率(lv)、碳(tan)氧含(han)量(liang)、位錯(cuo)密(mi)度(du))
5設備制(zhi)造工(gong)藝(yi)控(kong)制(zhi)保(bao)證
6自(zi)動化控制(zhi)程(cheng)度 7設備主要(yao)關(guan)鍵(jian)部(bu)件(jian)的配(pei)置(zhi)等 。
1、穩(wen)定(ding)的機(ji)架結構(gou)設計(ji)，增(zeng)強(qiang)了設備在(zai)晶(jing)體(ti)生(sheng)長過(guo)程中(zhong)的抗(kang)振(zhen)動能(neng)力(li)。
2、優(you)化的液(ye)壓(ya)提升(sheng)機(ji)構確(que)保副(fu)爐(lu)室提升(sheng)和復位時(shi)的運(yun)動平(ping)穩(wen)性。
3、與主機(ji)分(fen)離(li)的分(fen)水器(qi)設計(ji)，在(zai)減少冷(leng)卻水振(zhen)動對(dui)晶(jing)體(ti)生(sheng)長的影響的同時(shi)優化了水路布(bu)局(ju)。
4、晶(jing)體(ti)和坩堝的提升(sheng)采用雙電(dian)機(ji)結構(gou)，保(bao)證穩(wen)定(ding)的低(di)生(sheng)長速(su)度(du)以(yi)及坩堝和籽晶的快速定(ding)位。
5、采用無(wu)振(zhen)動的高(gao)性能(neng)馬(ma)達(da)和低(di)噪(zao)聲(sheng)的減速器(qi)驅(qu)動(dong)晶(jing)體(ti)和坩堝上(shang)升(sheng)，可(ke)提(ti)供(gong)穩(wen)定(ding)的低(di)生(sheng)長速(su)度(du)。
6、設備的真空條件(jian)和在真空(kong)下(xia)的可控惰(duo)性氣體(ti)氣流(liu)使(shi)得(de)熱(re)區(qu)清(qing)洗(xi)**化。氧化矽可以(yi)在不(bu)汙(wu)染晶(jing)體(ti)和晶體(ti)驅(qu)動(dong)裝(zhuang)置(zhi)的條件(jian)下(xia)排除。
7、帶(dai)隔離(li)閥(fa)的副(fu)室可以(yi)在熱(re)區(qu)保(bao)持(chi)工(gong)作(zuo)溫度(du)的情(qing)況下(xia)，取出(chu)長成的晶體(ti)或者更(geng)換籽晶。
8、對(dui)惰(duo)性氣體(ti)流(liu)量(liang)和爐(lu)室壓(ya)力(li)高(gao)精(jing)度的控制(zhi)能(neng)力(li)，為(wei)生(sheng)長高(gao)品質(zhi)單晶創(chuang)造了條件(jian)。
9、爐(lu)蓋和爐(lu)腔(qiang)通過(guo)兩個提(ti)升(sheng)裝(zhuang)置(zhi)提(ti)升(sheng)，很方(fang)便的轉向壹(yi)邊(bian)快捷地(di)清(qing)洗(xi)。
10、熔(rong)化溫度通過(guo)對加(jia)熱器(qi)溫(wen)度(du)的電(dian)控來(lai)維持和調(tiao)節，加熱(re)電(dian)源(yuan)采用直流(liu)供電(dian)提高(gao)了控制(zhi)精(jing)度。高(gao)品質(zhi)的加熱器(qi)溫(wen)度(du)測(ce)量(liang)傳感器(qi)實現了精(jing)確(que)的溫度控(kong)制(zhi)。
12、整(zheng)個晶(jing)體(ti)生(sheng)長過(guo)程由(you)壹(yi)個高(gao)可(ke)靠(kao)的可編(bian)程(cheng)計(ji)算(suan)機(ji)控制(zhi)器(qi)(PCC)控(kong)制(zhi)，包括抽真(zhen)空、熔(rong)化、引(yin)晶(jing)縮(suo)頸、放(fang)肩(jian)、等經生(sheng)長和尾錐生(sheng)長，晶(jing)體(ti)生(sheng)長全(quan)過(guo)程可(ke)實現全自(zi)動(CCD)控制(zhi)：。
13、帶(dai)有數(shu)據和報警(jing)過(guo)程控(kong)制(zhi)的可視化軟(ruan)件(jian)，存儲(chu)在(zai)計(ji)算(suan)機(ji)的硬盤中(zhong)。
單晶爐(lu)在(zai)使(shi)用(yong)時(shi)，爐(lu)體(ti)處(chu)於高(gao)溫(wen)工(gong)作(zuo)狀(zhuang)態，並(bing)要(yao)求(qiu)各運(yun)動部(bu)件(jian)的運(yun)動穩(wen)定(ding)可靠(kao)，精(jing)度高(gao)(尤(you)其(qi)是(shi)坩堝驅(qu)動裝置(zhi)和籽晶旋(xuan)轉及提升(sheng)機(ji)構)，工(gong)作(zuo)時(shi)間長(chang)。因(yin)此，在使(shi)用(yong)過(guo)程中(zhong)，要(yao)註(zhu)意(yi)設備的維護與保養。
坩堝驅(qu)動裝置(zhi)
坩堝驅(qu)動裝置(zhi)要(yao)求(qiu)的運(yun)動精(jing)度比(bi)較高(gao)，是(shi)設備的核心(xin)運(yun)動部(bu)件(jian)，應(ying)重點維護。坩堝軸(zhou)是(shi)石墨(mo)坩堝的支(zhi)撐軸(zhou)，應隨(sui)時(shi)檢(jian)查其(qi)冷(leng)卻水的情(qing)況，以(yi)免(mian)燒損。坩堝驅(qu)動采用滾(gun)珠(zhu)絲杠和直線導軌結構(gou)，是(shi)坩堝驅(qu)動的關鍵(jian)部(bu)件(jian)，需保持(chi)清(qing)潔(jie)，嚴(yan)禁灰(hui)塵(chen)、雜物(wu)附(fu)著(zhe)，並(bing)定(ding)期(qi)塗抹(mo)潤滑(hua)脂(zhi)。
籽(zi)晶旋(xuan)轉及提升(sheng)機(ji)構的維修(xiu)
籽晶(jing)旋轉及提升(sheng)機(ji)構也(ye)是(shi)單(dan)晶爐(lu)的關鍵(jian)部(bu)件(jian)，該部件(jian)運(yun)行(xing)的好壞(huai)直接影(ying)響(xiang)單晶(jing)的生(sheng)長。因(yin)此，也須(xu)重點維護。 卷輪(lun)箱是(shi)籽(zi)晶提(ti)升(sheng)的核心(xin)，卷輪(lun)箱內的零件(jian)壹(yi)般(ban)情(qing)況下(xia)不(bu)得(de)隨(sui)意(yi)拆除，必(bi)須(xu)拆除時(shi)，重新(xin)安(an)裝時(shi)必(bi)須(xu)保證(zheng)軟(ruan)軸對(dui)中(zhong)。軟(ruan)軸鋼(gang)絲繩(sheng)在使(shi)用(yong)中(zhong)不準有死彎(wan)現象，並(bing)在每(mei)次(ci)開(kai)爐(lu)時(shi)檢(jian)查鋼(gang)絲繩(sheng)是(shi)否(fou)燒損，如有燒(shao)損應及時(shi)修(xiu)整或更(geng)換新(xin)的鋼絲繩(sheng)。
其(qi)余(yu)部(bu)件(jian)的維修(xiu)
每次(ci)開單晶爐(lu)前(qian)應檢(jian)查水路系(xi)統(tong)是(shi)否(fou)暢通，水溫檢(jian)測(ce)傳(chuan)感器(qi)安(an)裝是(shi)否(fou)正常(chang)。發(fa)現有結垢時(shi)應及清(qing)理。在拉晶(jing)過(guo)程中(zhong)，若發現水壓(ya)報警(jing)或漏(lou)水時(shi)要(yao)及時(shi)采取措施(shi)。 真空(kong)管(guan)道的過(guo)濾網(wang)每爐(lu)要(yao)清(qing)理壹次，抽(chou)氣管(guan)道每20～30爐(lu)清(qing)理壹次。
產品分(fen)類(lei)
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